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申请/专利权人：惠州市中德纳微科技有限公司
摘要：本实用新型涉及热丝CVD设备技术领域，且公开了一种热丝CVD设备用的进气气流装置，包括第一级回旋腔，所述第一级回旋腔的顶部固定连通有进气管，所述第一级回旋腔底部的中心处固定安装有直流连接筒，所述直流连接筒的底端固定连通有第二级混合气体共喷腔，所述第二级混合气体共喷腔的侧表面设置有喷射孔，所述进气管的数量为六个，六个进气管以第一级回旋腔顶部的中心为圆心呈阵列分布。该热丝CVD设备用的进气气流装置，通过设置第一级回旋腔和第二级混合气体共喷腔，第一级回旋腔位于CVD设备外部，多个气管同平面圆形交叉设计，完成多路气体交叉回旋混合，第二级共喷腔位于CVD设备内部，周向间隔30度排布喷射孔，实现混气均匀及避免垂直热丝喷射。
主权项：1.一种热丝CVD设备用的进气气流装置，包括第一级回旋腔1，其特征在于：所述第一级回旋腔1的顶部固定连通有进气管2，所述第一级回旋腔1底部的中心处固定安装有直流连接筒3，所述直流连接筒3的底端固定连通有第二级混合气体共喷腔4，所述第二级混合气体共喷腔4的侧表面设置有喷射孔5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 惠州市中德纳微科技有限公司 一种热丝CVD设备用的进气气流装置
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