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申请/专利权人：惠州市中德纳微科技有限公司
摘要：本实用新型涉及热丝CVD金刚石涂层技术领域，且公开了一种大容量热丝CVD金刚石涂层设备，包括反应腔室，所述反应腔室的顶部设置有反应气管，所述反应腔室的内部设置有圆柱形基台，所述圆柱形基台的内侧均匀遍布有多个刀具基体，所述圆柱形基台的内部设置有多个热丝，所述反应腔室的一侧连接有冷水机。该大容量热丝CVD金刚石涂层设备，通过反应气管将反应气体注入反应腔室的内部，通过热丝电源正极和电源负极接头，以及正负极环，接直流电源，为热丝提供电流，电流大小依据不同刀具直径产品要求而定，上下热丝行程较长，利于大面积放置刀具基体，通过圆柱形基台使热场均匀，每支刀具均可以获得公平的温度与反应气体氛围。
主权项：1.一种大容量热丝CVD金刚石涂层设备，包括反应腔室1，其特征在于：所述反应腔室1的顶部设置有反应气管2，所述反应腔室1的内部设置有圆柱形基台3，所述圆柱形基台3的内侧均匀遍布有多个刀具基体4，所述圆柱形基台3的内部设置有多个热丝5，所述反应腔室1的一侧连接有冷水机6，所述反应腔室1的另一侧设置有排气孔7，所述排气孔7的另一侧连接有维持泵8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 惠州市中德纳微科技有限公司 一种大容量热丝CVD金刚石涂层设备
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