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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本实用新型提供了一种磁控管发光组件及一种半导体器件的加工装置。所述磁控管发光组件包括灯头、固定法兰及滑轨组件。所述灯头包括发光元件组及辅助元件。所述辅助元件被设于所述发光元件组的上方，至少向所述发光元件组供能，以驱动所述发光元件组发光。所述固定法兰上表面包括至少一个对准所述发光元件组的第一开口。所述滑轨组件包括定子与动子。所述定子被安装于所述固定法兰。所述动子被安装于所述发光元件组的下表面。所述定子与动子相对平移，以驱使所述发光元件组在所述第一开口上方的工作位置与所述第一开口侧方的维修位置之间平移。通过利用滑轨组件将内部零件滑动移出，本实用新型可以便于磁控管发光组件内部零件的更换和修理。
主权项：1.一种磁控管发光组件，其特征在于，包括：灯头，包括发光元件组及辅助元件，其中，所述辅助元件被设于所述发光元件组的上方，至少向所述发光元件组供能，以驱动所述发光元件组发光；固定法兰，其上表面包括至少一个对准所述发光元件组的第一开口；以及滑轨组件，包括定子与动子，其中，所述定子被安装于所述固定法兰，所述动子被安装于所述发光元件组的下表面，两者相对平移，以驱使所述发光元件组在所述第一开口上方的工作位置与所述第一开口侧方的维修位置之间平移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司 磁控管发光组件及半导体器件的加工装置
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