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申请/专利权人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要:本发明揭示了一种丙烯酸类树脂聚合物及其制备方法与应用。所述丙烯酸类树脂聚合物具有如式I所示的结构:其中,x=1~1600;R1选自二元醇或二元酚的残基、三元醇或三元酚的残基、四元醇或四元酚的残基,n≥2;R2选自二元醇或二元酚的残基;R3选自甲基或氢原子;R4选自卤素溴原子或氯原子;R5选自苄基、金刚烷基或羟基取代的金刚烷基、C1~C12烷基或羟基取代的C1~C12烷基、缩水甘油基中的任一种。本发明为具有主链刺激断裂,拓扑结构为两臂型、三臂型或四臂型的聚合物,该结构设计特点有利于提高树脂光刻灵敏度。
主权项:1.一种丙烯酸类树脂聚合物,其特征在于,它具有如式I所示的结构: 其中,x=1~1600;R1选自二元醇或二元酚的残基、三元醇或三元酚的残基、四元醇或四元酚的残基,n≥2;R2选自二元醇或二元酚的残基;R3选自甲基或氢原子;R4选自卤素溴原子或氯原子;R5选自苄基、金刚烷基或羟基取代的金刚烷基、C1~C12烷基或羟基取代的C1~C12烷基、缩水甘油基中的任一种;所述丙烯酸类树脂聚合物的分子量为1000~200000gmol,分子量分布在1.04~2.50;优选的,R1选自二元醇或二元酚的残基,且n为2,或者,R1选自三元醇或三元酚的残基,且n为3,或者,R1选自四元醇或四元酚的残基,且n为4。
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