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一种罗茨真空泵综合性能测试装置 

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申请/专利权人:兰州空间技术物理研究所

摘要:本申请涉及真空测试技术领域,具体而言,涉及一种罗茨真空泵综合性能测试装置,包括进口测试罩、待测试罗茨泵、旋片泵、流量调节阀、出口测试罩以及流量精调系统,其中:进口测试罩与待测试罗茨泵的进口连接;待测试罗茨泵的出口通过三通管道分别与出口测试罩和旋片泵连接;流量精调系统设置在进口测试罩和出口测试罩之间,一端通过第一隔断阀与进口测试罩连接,另一端通过第二隔断阀与出口测试罩连接。本申请采用模块化的设计,将进口测试罩、测试罗茨泵、流量调节阀、旋片泵、出口测试罩和流量精调系统等组件高度集成,实现了罗茨泵产品性能便捷与高效的综合性测试和评价,能够全面低成本的反映罗茨真空泵的性能。

主权项:1.一种罗茨真空泵综合性能测试装置,其特征在于,包括进口测试罩、待测试罗茨泵、旋片泵、流量调节阀、出口测试罩以及流量精调系统,其中:所述进口测试罩与所述待测试罗茨泵的进口连接;所述待测试罗茨泵的出口通过三通管道分别与所述出口测试罩和所述旋片泵连接;所述三通管道的第一端口设置有波纹管,与所述待测试罗茨泵的出口连接;所述三通管道的第二端口通过所述流量调节阀与所述旋片泵的进口连接;所述三通管道的第三端口与所述出口测试罩连接;所述流量精调系统设置在所述进口测试罩和所述出口测试罩之间,一端通过第一隔断阀与所述进口测试罩连接,另一端通过第二隔断阀与所述出口测试罩连接。

全文数据:

权利要求:

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