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高信噪比的扫描探针测量方法与系统 

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申请/专利权人:百及纳米科技(上海)有限公司

摘要:本发明实施例提供了一种高信噪比的扫描探针测量方法与系统,涉及测量技术领域。扫描探针测量方法包括:获取待测样品的参照曲线,并根据参照曲线设定各测量点的加权系数,参照曲线表征了至少一次测量所得到的待测样品表面上多个测量点的参照测量值;基于各测量点的加权系数,调整各测量点的测量耗时参数,测量耗时参数表征对测量点进行测量所需的处理时间;基于调整后的各测量点的测量耗时参数对待测样品表面进行扫描测量,得到测量曲线。本发明中,能在相同的测量时间内,测量得到信噪比高的测量数据,亦即能在满足一定信噪比要求的条件下尽可能减少测量耗时。

主权项:1.一种高信噪比的扫描探针测量方法,其特征在于,包括:获取待测样品的参照曲线,并根据所述参照曲线设定各所述测量点的加权系数,所述参照曲线表征了至少一次测量所得到的待测样品表面上多个测量点的参照测量值;基于各所述测量点的加权系数,调整各所述测量点的测量耗时参数,所述测量耗时参数表征对所述测量点进行测量所需的处理时间;基于调整后的各所述测量点的测量耗时参数对待测样品表面进行扫描测量,得到测量曲线。

全文数据:

权利要求:

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