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申请/专利权人：安徽大学
摘要：本发明公开了一种多层架构式MEMS传感器及其制备方法，包括：上模块和下模块；其中，下模块包括支撑层、第二绝缘层和加热电极层，第二绝缘层设置于支撑层的上表面，加热电极层设置于第二绝缘层的上表面；其中，上模块包括第一绝缘层、叉指电极层和封装层，第一绝缘层的上表面为平面，叉指电极层设置于第一绝缘层的上表面，封装层设置于叉指电极层的上表面上，且封装层上设有用于将叉指电极暴露出的通孔；第一绝缘层设置于加热电极层的上表面。本发明能够提升气体敏感薄膜在加热状态下的结构和性能稳定性。
主权项：1.一种多层架构式MEMS传感器，其特征在于，包括：上模块和下模块；其中，下模块包括支撑层、第二绝缘层和加热电极层，第二绝缘层设置于支撑层的上表面，加热电极层设置于第二绝缘层的上表面；其中，上模块包括第一绝缘层、叉指电极层和封装层，第一绝缘层的上表面为平面，叉指电极层设置于第一绝缘层的上表面，封装层设置于叉指电极层的上表面上，且封装层上设有用于将叉指电极层的叉指电极暴露出的通孔；第一绝缘层设置于加热电极层的上表面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽大学 一种多层架构式MEMS传感器及其制备方法
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