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申请/专利权人：极光先进雷射株式会社

摘要：激光装置具有：第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行第1激光的脉冲化和放大；波长转换系统，其对从第1放大器输出的第1脉冲激光进行波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对第2脉冲激光进行放大；监视器模块，其计测从准分子放大器输出的第3脉冲激光的波长；以及处理器，其计算中心波长以及波长差，该中心波长是第1目标波长时的波长的计测值和第2目标波长时的波长的计测值的平均值，该波长差是第1目标波长时的波长的计测值与第2目标波长时的波长的计测值之差，计算第1半导体激光器的平均电流值，以使目标中心波长与中心波长之差变小，计算电流值差，以使目标波长差与波长差之差变小，根据平均电流值和电流值差计算第1目标波长时的第1电流值和第2目标波长时的第2电流值，来对第1半导体激光器进行控制。

主权项：1.一种激光装置，其具有：波长可变的第1半导体激光器，其输出连续振荡的第1激光；第1放大器，其进行所述第1激光的脉冲化和放大，而输出第1脉冲激光；波长转换系统，其通过使用所述第1脉冲激光的波长转换，而输出第2脉冲激光；准分子放大器，其对所述第2脉冲激光进行放大，而输出第3脉冲激光；监视器模块，其计测所述第3脉冲激光的波长；以及处理器，其进行如下处理：将所述第3脉冲激光的目标波长交替地变更为第1目标波长和比所述第1目标波长靠长波长侧的第2目标波长，计算中心波长和波长差，该中心波长是以所述第1目标波长输出的所述第3脉冲激光的波长的计测值和以所述第2目标波长输出的所述第3脉冲激光的波长的计测值的平均值，该波长差是以所述第1目标波长输出的所述第3脉冲激光的波长的计测值与以所述第2目标波长输出的所述第3脉冲激光的波长的计测值之差，计算所述第1目标波长时的所述第1半导体激光器的第1电流值和所述第2目标波长时的所述第1半导体激光器的第2电流值的平均值即平均电流值，以使目标中心波长与所述中心波长之差变小，该目标中心波长是所述第1目标波长和所述第2目标波长的平均值，计算所述第1电流值与所述第2电流值之差即电流值差，以使目标波长差与所述波长差之差变小，该目标波长差是所述第1目标波长与所述第2目标波长之差，根据所述平均电流值和所述电流值差计算所述第1电流值和所述第2电流值，对所述第1半导体激光器进行控制，以使得在以所述第1目标波长输出所述第3脉冲激光的情况下所述第1半导体激光器的电流值成为所述第1电流值，在以所述第2目标波长输出所述第3脉冲激光的情况下所述第1半导体激光器的电流值成为所述第2电流值。

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百度查询： 极光先进雷射株式会社 激光装置和电子器件的制造方法