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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明提供一种基于变离焦量激光诱导击穿光谱的材料成分面分析方法，该方法效率高且对技术人员的操作水平要求较低，适用于对材料成分测试精度要求低于无离焦状态时的测量结果但高于不考虑待检测表面粗糙状态时的测量结果。本发明提出首先确定激光脉冲不同离焦状态对材料成分信息测量结果的定量影响关系，然后采用相同的激光光束与材料表面相对距离，在存在离焦量的情况下，对待检测材料表面进行成分检测，最后利用所述的离焦量与成分信息测量结果定量影响关系对离焦状态下获得的测试结果进行修正预测。
主权项：1.一种基于变离焦量激光诱导击穿光谱的材料成分面分析方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）建立离焦量数值与离焦状态下激光检测结果误差的定量关系；（2）测量待检测区域最低点在无离焦状态下的材料成分信息；（3）固定待检测区域最低点测试时的激光光束与待检测材料直线距离不变，在该距离条件下，测试待检测区域其他测试点的材料成分信息；（4）判定待检测区域所有测试点在激光检测过程中的离焦量数值；（5）计算离焦状态下的激光检测结果误差，预测离焦状态下的测试点的真实成分信息；（6）确定待检测材料表面区域的元素成分面分布特征与规律。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 基于变离焦量激光诱导击穿光谱的材料成分面分析方法
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