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申请/专利权人：荣旗工业科技(苏州)股份有限公司

摘要：本发明公开了一种搬运输送系统，属于半导体加工领域，包括输送机构，输送机构包括：导轨结构，包括用于承载和引导料盘移动的导轨件，导轨结构设有上料工位、搬运工位和下料工位；移载台，活动设置在导轨结构上，且位于导轨件下方，移载台数量为两个；驱动组件，设置在导轨结构上，且与移载台一一对应，驱动组件可驱动移载台移动至上料工位、搬运工位和下料工位；移载台在导轨结构长度方向的两侧均设置有夹持组件，夹持组件处于松开状态时，移载台可流经导轨件上的料盘，且当移载台移动至料盘正下方时，夹持组件可切换至夹持状态，以夹持和带动料盘同步移动。本发明采用上述结构，料盘输送平稳，且有效提高输送和下料效率。

主权项：1.一种搬运输送系统，其特征在于，包括输送机构（100），所述输送机构（100）包括：导轨结构（110），包括用于承载和引导料盘（500）移动的导轨件（111），所述导轨结构（110）沿其长度方向依次设有上料工位、搬运工位和下料工位；移载台（120），活动设置在所述导轨结构（110）上，且位于所述导轨件（111）下方，所述移载台（120）数量为两个；驱动组件（130），设置在所述导轨结构（110）上，且与所述移载台（120）一一对应，所述驱动组件（130）可驱动所述移载台（120）移动至所述上料工位、所述搬运工位和所述下料工位；其中，所述移载台（120）在所述导轨结构（110）长度方向的两侧均设置有夹持组件（140），所述夹持组件（140）具有松开状态和夹持状态，所述夹持组件（140）处于所述松开状态时，所述移载台（120）可流经所述导轨件（111）上的料盘（500），且当所述移载台（120）移动至料盘（500）正下方时，所述夹持组件（140）可切换至所述夹持状态，以夹持和带动料盘（500）同步移动；所述导轨结构（110）包括导轨支架（112），所述导轨支架（112）在其宽度方向的两侧均设置有所述导轨件（111），两侧的所述导轨件（111）配合承载料盘（500），并在所述导轨结构（110）的宽度方向定位料盘（500）；所述移载台（120）位于所述导轨件（111）之间，两所述移载台（120）在所述导轨结构（110）长度方向上的投影不相重合；所述移载台（120）包括：底座（121），与所述导轨结构（110）滑动连接；台板（122），与所述底座（121）固定连接，且其台面不高于所述导轨件（111）用于承载料盘（500）的承载面；其中，所述底座（121）和所述台板（122）之间形成有安装空间（123），所述夹持组件（140）安装于所述安装空间（123）；所述夹持组件（140）包括：第一驱动气缸（141），固定在所述安装空间（123）内，其驱动方向与所述导轨结构（110）的长度方向平行；推块（142），与所述第一驱动气缸（141）传动连接；第一夹块（143），与所述推块（142）相铰接，且其铰接轴向与所述导轨结构（110）的宽度方向平行，所述第一夹块（143）包括第一夹持部（1432），所述第一夹持部（1432）用于对料盘（500）在所述导轨结构（110）长度方向上的边侧进行抵持；其中，所述第一夹块（143）适于在所述推块（142）的带动下翻转向所述台板（122）在所述导轨结构（110）长度方向上的边侧，以驱使所述夹持组件（140）切换至所述夹持状态，且所述第一夹块（143）适于在所述推块（142）的带动下翻转离所述台板（122）在所述导轨结构（110）长度方向上的边侧，以驱使所述夹持组件（140）切换至所述松开状态；所述夹持组件（140）还包括：第二驱动气缸（146），与所述第一夹块（143）固定连接，且位于所述安装空间（123）外；第二夹块（147），与所述第二驱动气缸（146）传动连接，其包括用于对料盘（500）的顶面进行限位的第二夹持部（1472）；其中，当所述夹持组件（140）切换至所述夹持状态时，所述第二夹持部（1472）位于所述台板（122）上方，且所述第二驱动气缸（146）的驱动方向与竖直方向平行，当所述夹持组件（140）切换至所述松开状态时，所述第二夹持部（1472）不相对所述台板（122）的台面凸出。

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