龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江大族富创得科技有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆盒搬运机构，包括机架；夹爪机构，包括纵向平移组件、横向伸缩臂以及夹爪组件；所述横向伸缩臂一端固设于所述纵向平移组件的输出端，所述夹爪组件固设于所述横向伸缩臂的自由端；所述夹爪组件借助所述纵向平移组件和所述横向伸缩臂的带动下在纵向和横向平移；竖直升降机构；所述纵向平移组件固设于所述竖直升降机构的输出端，以带动所述夹爪组件在竖直方向平移，通过夹爪机构和竖直升降机构配合，竖直升降机构带动夹住机构竖直方向平移，通过夹爪机构内的横向伸缩臂，实现三级联动，从而带动夹爪组件快速的移动切换，缩短移动时间，提高效率。
主权项：1.一种晶圆盒搬运机构，其特征在于：包括机架10；夹爪机构20，包括纵向移动组件29、横向伸缩臂以及夹爪组件25；所述横向伸缩臂一端固设于所述纵向移动组件29的输出端，所述夹爪组件25固设于所述横向伸缩臂的自由端；所述夹爪组件25借助所述纵向移动组件29和所述横向伸缩臂的带动下在纵向和横向平移；竖直升降机构30；所述纵向移动组件29固设于所述竖直升降机构30的输出端，以带动所述夹爪组件25在竖直方向平移；所述横向伸缩臂包括第一驱动源62、第一横向直线往复运动组件26、第二横向直线往复运动组件27以及第三横向直线往复运动组件28；所述第一横向直线往复运动组件26连接于所述纵向移动组件29的输出端，所述第二横向直线往复运动组件27固设于所述第一横向直线往复运动组件26的输出端，所述第三横向直线往复运动组件28固设于所述第二横向直线往复运动组件27的输出端，所述夹爪组件25固设于所述第三横向直线往复运动组件25的输出端；所述第一驱动源62驱动所述第一横向直线往复运动组件26的输出端、所述第二横向直线往复运动组件27的输出端以及所述第三横向直线往复运动组件28的输出端同向、同步联动，以带动所述夹爪组件25横向往复平移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大族富创得科技有限公司 一种晶圆盒搬运机构及其搬运方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号