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申请/专利权人：季华实验室
摘要：本申请涉及外延层厚度测量技术领域，具体提供了一种高精度傅里叶变换红外光谱仪及外延层厚度测量方法，该光谱仪包括：探测头；样品台；驱动机构；反射镜；控制器，用于获取样品信号集，还用于在每次获取样品信号集前和或每次完成样品信号集的获取后，控制驱动机构驱动样品台旋转和或水平移动，以将反射镜移动至探测头下方，并通过探测头获取背景信号，还用于根据预设的转换关系、样品信号集和对应的背景信号获取同一待测量外延片上的各个测量点位对应的外延层厚度；该光谱仪能够有效地解决由于预先获取的背景信号与每次测量外延层厚度的过程中实际的背景信号存在较大的偏差而导致外延层厚度的测量精度低的问题和提高外延层厚度的测量效率。
主权项：1.一种高精度傅里叶变换红外光谱仪，其特征在于，所述高精度傅里叶变换红外光谱仪包括：探测头；样品台，位于所述探测头下方，用于放置待测量外延片；驱动机构，与所述样品台连接，用于驱动所述样品台旋转和或水平移动；反射镜，安装在所述样品台上；控制器，用于通过所述驱动机构与所述探测头的配合获取样品信号集，所述样品信号集包括同一待测量外延片上的多个测量点位对应的样品信号；所述控制器还用于在每次获取所述样品信号集前和每次完成所述样品信号集的获取后，控制所述驱动机构驱动所述样品台旋转和或水平移动，以将所述反射镜移动至所述探测头下方，并通过所述探测头获取背景信号；所述控制器还用于根据预设的转换关系、所述样品信号集和对应的背景信号获取同一待测量外延片上的各个测量点位对应的外延层厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 季华实验室 一种高精度傅里叶变换红外光谱仪及外延层厚度测量方法
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