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一种外延炉尾气燃烧器 

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申请/专利权人:石家庄帕威半导体科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种外延炉尾气燃烧器,属于外延炉尾气燃烧技术领域。包括外壳,外壳侧壁设置有进气泵,外壳底部设置有进气管道,外壳内部设置有燃烧座,燃烧座前侧设置有燃气管道,燃烧座内部设置有混合腔,混合腔内部设置有搅动柱。本实用新型通过利用混合腔将尾气和燃气混合后再分配到多个上升通道的网筒内部燃烧,实现了将尾气和燃料混合后再分成多份燃烧,使得尾气可以燃烧的更充分更彻底,有利于对外延炉尾气的燃烧处理;通过利用卡接条插入固定件和凹槽内部配合锁定件进行锁定,可实现对处理模块的快速卡接,可便捷的将处理模块从外壳上进行拆卸取下,有利于对处理模块进行拆卸检修和维护。

主权项:1.一种外延炉尾气燃烧器,其特征在于,包括:外壳100,所述外壳100侧壁设置有进气泵101,所述外壳100底部设置有进气管道111,所述外壳100内部设置有燃烧座110,所述燃烧座110前侧设置有燃气管道113,所述燃烧座110内部设置有混合腔120,所述混合腔120内部设置有搅动柱121,所述燃烧座110侧壁设置有驱动组件112,所述混合腔120顶部设置有多个上升通道122,所述上升通道122顶部设置有固接于燃烧座110顶部的网筒114,所述上升通道122内部设置有配合于网筒114内部的点火件123;处理模块200,所述处理模块200设置于外壳100的顶部,所述处理模块200底部设置有安装板210,所述安装板210顶部开设有卡接条212,所述外壳100顶部固接有锁定件220和配合于卡接条212的固定件230,所述外壳100内壁固接有固接筒202,所述处理模块200底部固接有连接管201,所述固定件230侧壁贯穿有锁定板221。

全文数据:

权利要求:

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