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申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司
摘要：本实用新型涉及工件设备技术领域，尤其涉及一种搬运装置。搬运装置包括：X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构、旋转机构和支撑台，X轴移动机构用于使工件沿X轴方向运动；Y轴移动机构安装于X轴移动机构；Z轴移动机构安装于Y轴移动机构；旋转机构安装于Z轴移动机构；支撑台安装于旋转机构，旋转机构能够带动支撑台旋转，支撑台的调节组件能够夹紧不同尺寸的工件。通过调节组件的调节作用能够固定不同尺寸的工件，防止工件移动；通过X轴移动机构、Y轴移动机构、Z轴移动机构和旋转机构共同作用，用于搬运并调节工件位置，使工件被精确搬运至镀膜腔体内，并保证工件精确安装。
主权项：1.搬运装置，其特征在于，包括：X轴移动机构1，所述X轴移动机构1用于使工件10沿X轴方向运动；Y轴移动机构2，所述Y轴移动机构2安装于所述X轴移动机构1；Z轴移动机构3，所述Z轴移动机构3安装于所述Y轴移动机构2；旋转机构4，所述旋转机构4安装于所述Z轴移动机构3，且所述旋转机构4能够自转；支撑台5，所述支撑台5安装于所述旋转机构4，所述支撑台5设置有调节组件，所述调节组件能够夹紧不同尺寸大小的所述工件10，所述X轴、所述Y轴和所述Z轴之间两两相互垂直。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 搬运装置
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