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申请/专利权人：威海精讯畅通电子科技有限公司
摘要：本发明提供了一种基于MEMS的中红外光源及气体传感器，属于半导体制造技术领域。其技术方案为：一种基于MEMS的中红外光源，包括基体以及设置在基体上的发热层；所述发热层包括由Pt金属膜制成的加热元件以及连接在所述加热元件两端的加热焊盘；所述加热元件的中心区域设有空腔。本发明的有益效果为：发热层中间设置空腔，利用趋肤效应使发热层中心区域的温度分布均匀，提高微热源的稳定性，进而提高气体传感器的稳定性；通过改变空腔尺寸能够控制加热温度，温度的稳定调节能够大大提高微热源的适用范围，进而提高气体传感器的选择性。
主权项：1.一种基于MEMS的中红外光源，其特征在于，包括基体以及设置在基体上的发热层；所述发热层包括有Pt金属膜制成的加热元件以及连接在所述加热元件两端的加热焊盘；所述加热元件的中心区域设有空腔。
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百度查询： 威海精讯畅通电子科技有限公司 一种基于MEMS的中红外光源及气体传感器
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