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申请/专利权人：苏州腾晖光伏技术有限公司
摘要：本申请涉及一种TOPCon太阳能电池制造方法，首先对原始基底进行清洗与制绒处理，随后进行背面抛光和扩散工艺，以优化基底的光吸收和电学性能。在多层薄膜沉积阶段，采用等离子体增强化学气相沉积技术，在同一设备及步骤中同步形成第一介质层、第二介质层、第一导电掺杂层和第二导电掺杂层，提高生产效率。此外，在沉积各层之前，于基底侧面先形成一层氧化物层，作为激光刻蚀的起点，确保正面钝化接触层的精确图案化。最后，在正面刻蚀完成后，沉积氧化铝钝化层，并在基底正反面同时沉积钝化减反层，以增强电池的光学性能、表面保护能力和长期稳定性。本申请的制造方法不仅简化工艺流程，还显著提升TOPCon太阳能电池的整体性能。
主权项：1.一种TOPCon太阳能电池，其特征在于，包括基底（100）、背面钝化接触层（200）、正面钝化接触层（300）；所述背面钝化接触层（200）形成在基底（100）的背面，且覆盖所述基底（100）的整个背面，包括第一介质层（210）、第一导电掺杂层（220）及第一保护覆盖层（230）；所述正面钝化接触层（300）形成在基底（100）的正面，包括第二介质层（310）、第二导电掺杂层（320）及第二保护覆盖层（330），所述正面钝化接触层（300）的位置与电池片正面印刷的栅线形状及位置对应，且所述正面钝化接触层（300）的宽度为对应栅线宽度的125%-200%；其中，所述第一介质层（210）和所述第二介质层（310）在同一个沉积步骤中使用相同工艺参数沉积而成，所述第一导电掺杂层（220）和所述第二导电掺杂层（320），在同一个沉积步骤中使用相同工艺参数沉积而成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州腾晖光伏技术有限公司 TOPCon太阳能电池及其制造方法
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