龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海积塔半导体有限公司
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种铁电存储器及其制造方法。所述铁电存储器的制造方法包括如下步骤：形成基底，所述基底包括衬底、位于所述衬底上方的第一介质层以及贯穿所述第一介质层的第一接触结构；于所述第一介质层内形成环绕所述第一接触结构的外周分布且暴露所述第一接触结构的侧壁的存储孔；形成连续覆盖所述存储孔的内壁、所述第一接触结构的侧壁和所述第一接触结构的顶面的存储结构，所述存储结构与所述第一接触结构电连接。本发明增大了存储结构的面积，实现了对铁电存储器存储性能的改善，且简化了铁电存储器的制造工艺、降低了铁电存储器的制造难度。
主权项：1.一种铁电存储器的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：形成基底，所述基底包括衬底、位于所述衬底上方的第一介质层以及贯穿所述第一介质层的第一接触结构；于所述第一介质层内形成环绕所述第一接触结构的外周分布且暴露所述第一接触结构的侧壁的存储孔；形成连续覆盖所述存储孔的内壁、所述第一接触结构的侧壁和所述第一接触结构的顶面的存储结构，所述存储结构与所述第一接触结构电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海积塔半导体有限公司 铁电存储器及其制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号