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申请/专利权人：南通大学
摘要：本发明提供了基于声学超材料阵列的双模态兰姆波压电谐振器，属于射频MEMS器件领域。双模态兰姆波压电谐振器包括：第一谐振区域，包括：第一压电振动结构，配置于其上表面上的第一顶部叉指电极，和配置于其下表面上的第一底部叉指电极；第二谐振区域，包括：第二压电振动结构，配置于其上表面上的第二顶部叉指电极，和配置于其下表面上的第二底部叉指电极；声学超材料阵列结构，声学超材料阵列结构设置在第一谐振区域和第二谐振区域之间。本发明的基于声学超材料阵列的双模态兰姆波压电谐振器能够实现两个独立的工作模态，且两个模态都具有较好的频谱纯净度，有利于实现其在双通带滤波器中的应用。
主权项：1.一种基于声学超材料阵列的双模态兰姆波压电谐振器，其特征在于，所述双模态兰姆波压电谐振器包括：第一谐振区域，其中第一谐振区域包括：第一压电振动结构，配置于所述第一压电振动结构的上表面上的第一顶部叉指电极，和配置于所述第一压电振动结构的下表面上的第一底部叉指电极；第二谐振区域，其中第二谐振区域包括：第二压电振动结构，配置于所述第二压电振动结构的上表面上的第二顶部叉指电极，和配置于所述第二压电振动结构的下表面上的第二底部叉指电极；声学超材料阵列结构，所述声学超材料阵列结构设置在第一谐振区域和第二谐振区域之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南通大学 基于声学超材料阵列的双模态兰姆波压电谐振器
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