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申请/专利权人：北京理工大学
摘要：本发明公开了一种定制飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌的方法，包括：在晶硅样品表面加工出表面周期性结构；获取晶硅样品的电镜扫描图像；对电镜扫描图像进行预处理，得到多个图像数据子集；构建用于飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌识别的网络模型；对电镜扫描图像进行分类和交叉验证；构建飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌对应的数据库和优化分布窗口；根据该优化分布窗口加工所需的飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌。本发明可以识别飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌；优化的数据库和分布窗口满足飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌的定制需求。
主权项：1.一种定制飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、基于飞秒激光加工电路，在晶硅样品表面加工出表面周期性结构；S2、采用扫描电镜表征加工出的表面周期性结构的晶硅样品，获取晶硅样品的电镜扫描图像；S3、对电镜扫描图像进行预处理，得到电镜扫描图像的多个图像数据子集；S4、基于多个图像数据子集，构建用于飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌识别的网络模型；S5、基于多个图像数据子集优化网络模型，并对飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌的电镜扫描图像进行分类和交叉验证；S6、构建飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌对应的数据库和优化分布窗口；S7、根据该优化分布窗口加工所需的飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京理工大学 一种定制飞秒激光诱导晶硅表面周期性结构形貌的方法
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