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申请/专利权人：上海联影微电子科技有限公司
摘要：本申请涉及用于制造传感电极的方法、传感电极、传感器。该方法包括：形成层叠于基底的第一电极，第一电极位于基底的第一侧；形成层叠于基底的第二电极，第二电极位于基底的第一侧且与第一电极同层；形成层叠于基底的第三电极，第三电极位于基底的与第一侧相对的第二侧；以及形成层叠于第一电极且电连接于第一电极的电位参考层。该方法通过配置这样设置的第一电极和第二电极，使得传感电极的使用效果好。
主权项：1.用于制造传感电极的方法，其特征在于，包括：形成层叠于基底11的第一电极2，所述第一电极2位于所述基底11的第一侧；形成层叠于所述基底11的第二电极3，所述第二电极3位于所述基底11的所述第一侧且与所述第一电极2同层；形成层叠于所述基底11的第三电极7，所述第三电极7位于所述基底11的与所述第一侧相对的第二侧；以及形成层叠于所述第一电极2且电连接于所述第一电极2的电位参考层6。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海联影微电子科技有限公司 用于制造传感电极的方法、传感电极、传感器
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