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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明公开了一种轨道角动量域暗场成像系统及成像方法，成像系统包括高斯基模光束照明模块、样品及扫描模块，以及轨道角动量域模态分解模块；成像方法是基于轨道角动量本征态在数学上构成一组完备正交基的理论，利用高斯基模光束照射被测表面，通过空间光调制器上写入的涡旋光全息图将表面缺陷的反射光场展开到轨道角动量域，利用2f系统测量反射光场在轨道角动量域的展开系数，其展开系数包括幅值和模间相位，从而获取表面缺陷的暗场图像。本发明是在轨道角动量域获取缺陷暗场成像信息，为表面缺陷检测开拓了一种全新的检测维度。
主权项：1.一种轨道角动量域暗场成像系统，其特征是包括高斯基模光束照明模块、样品及扫描模块和轨道角动量域模态分解模块；所述高斯基模光束照明模块，用于产生线偏振的、聚焦的高斯基模光束；所述样品及扫描模块，用于实现高斯基模光束与样品之间的相对扫描；所述轨道角动量域模态分解模块，用于将表面缺陷远场衍射的畸变光场通过空间光调制器写入的全息图在轨道角动量域进行模态分解，获取各模态下的展开系数，所述展开系数包括幅值和模间相位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 一种轨道角动量域暗场成像系统及成像方法
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