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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本发明公开一种基于差分分数阶涡旋光束的暗场共焦显微测量装置与方法，涉及光学精密测量领域，该装置包括：分数阶涡旋光模块，用于生成第一分数阶涡旋光和第二分数阶涡旋光；光学扫描模块，用于将第一分数阶涡旋光和第二分数阶涡旋光分别对样品进行扫描，得到第一信号回光和第二信号回光；暗场探测模块，用于分别对第一信号回光和第二信号回光进行暗场探测，得到第一分数阶散射暗场图像和第二分数阶散射暗场图像；差分暗场散射图像确定模块，用于将第一分数阶散射暗场图像和第二分数阶散射暗场图像进行差分，得到差分暗场散射图像；缺陷确定模块，用于对差分暗场散射图像进行处理，得到样品缺陷。本发明可提升成像信噪比，提高缺陷检测的灵敏度。
主权项：1.一种基于差分分数阶涡旋光束的暗场共焦显微测量装置，其特征在于，所述基于差分分数阶涡旋光束的暗场共焦显微测量装置包括：分数阶涡旋光模块、光学扫描模块、暗场探测模块、差分暗场散射图像确定模块和缺陷确定模块；所述分数阶涡旋光模块，用于生成第一分数阶涡旋光和第二分数阶涡旋光；所述第一分数阶涡旋光为根据第一涡旋相位和闪耀光栅相位叠加生成的光；所述第二分数阶涡旋光为根据第二涡旋相位和闪耀光栅相位叠加生成的光；所述光学扫描模块，用于先将所述第一分数阶涡旋光传递至样品进行扫描，得到第一信号回光，然后将所述第二分数阶涡旋光传递至样品进行扫描，得到第二信号回光；所述暗场探测模块，用于分别对所述第一信号回光和所述第二信号回光进行暗场探测，得到第一分数阶散射暗场图像和第二分数阶散射暗场图像；所述差分暗场散射图像确定模块，用于将所述第一分数阶散射暗场图像和所述第二分数阶散射暗场图像进行差分，得到差分暗场散射图像；所述缺陷确定模块，用于对所述差分暗场散射图像进行处理，得到样品缺陷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 基于差分分数阶涡旋光束的暗场共焦显微测量装置与方法
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