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申请/专利权人：材料科学姑苏实验室

摘要：本发明公开了一种激光束匀光系统。激光束匀光系统包括依次设置的第一非球面透镜、第一柱面透镜组、第二非球面透镜组和第一柱面透镜；第一非球面透镜用于将入射激光光束准直为第一平行光束；第一柱面透镜组设置在第一平行光束的传播路径上，用于压缩平行光束沿弧矢方向的光束口径；第二非球面透镜组设置在第一柱面透镜组出射激光的传播路径上，用于匀化入射激光光束；第一柱面透镜设置在第二非球面透镜组出射激光的传播路径上，用于沿弧矢方向聚焦入射激光光束，形成线形光斑。本发明实施例，具有体积紧凑、线形光斑长轴长度长、长轴方向能量均匀性高和工作距离连续可调等特点，满足激光加工、激光照明、激光诱导荧光光谱等领域的应用需求。

主权项：1.一种激光束匀光系统，其特征在于，包括依次设置的第一非球面透镜、第一柱面透镜组、第二非球面透镜组和第一柱面透镜；所述第一非球面透镜用于将入射激光光束准直为第一平行光束；所述第一柱面透镜组设置在所述第一平行光束的传播路径上，用于压缩所述平行光束沿弧矢方向的光束口径；所述第二非球面透镜组设置在所述第一柱面透镜组出射激光的传播路径上，用于匀化所述入射激光光束；所述第一柱面透镜设置在所述第二非球面透镜组出射激光的传播路径上，用于沿所述弧矢方向聚焦所述入射激光光束，形成线形光斑；所述线形光斑长轴方向的能量均匀性大于87%；所述线形光斑的长宽比大于或者等于64：1；所述第一柱面透镜组包括至少一个柱面透镜；所述至少一个柱面透镜包括第二柱面透镜和第三柱面透镜，所述第二柱面透镜位于所述第一非球面透镜与所述第三柱面透镜之间；所述第二柱面透镜用于压缩所述第一平行光束沿所述弧矢方向的光束口径，所述第三柱面透镜用于将经所述第二柱面透镜压缩后的激光光束准直为第二平行光束；所述第二非球面透镜组包括至少一个非球面透镜；所述至少一个非球面透镜包括第二非球面透镜和第三非球面透镜，所述第三非球面透镜位于所述第二非球面透镜与所述第一柱面透镜之间；所述第二柱面透镜的曲率半径为18.4mm，所述第二柱面透镜的前后表面距离为2mm，所述第二柱面透镜的材料为BK7，所述第二柱面透镜与所述第三柱面透镜之间的距离为10.3mm，所述第三柱面透镜的曲率半径为15.2mm，所述第三柱面透镜的前后表面距离为2mm，所述第三柱面透镜的材料为BK7；所述第二非球面透镜靠近所述第三柱面透镜的一侧表面的曲率半径为-6.3mm，远离所述第三柱面透镜的一侧表面的曲率半径为-10.4mm，所述第二非球面透镜的前后表面距离为4mm，所述第二非球面透镜的材料为BK7；所述第二非球面透镜与所述第三非球面透镜之间的距离为13.7mm，所述第三非球面透镜靠近所述第二非球面透镜的一侧表面的曲率半径为12.5mm，远离所述第二非球面透镜的一侧表面的曲率半径为9.7mm，所述第三非球面透镜的前后表面距离为4mm，所述第三非球面透镜的材料为BK7。

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