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申请/专利权人：合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)
摘要：本发明公开了一种基于螺旋波等离子体的强流离子源装置，该装置主要包括头部螺旋波离子源、磁约束部分和扩散部分及其配套的供气系统、抽真空系统、射频系统和冷却系统。首先供气系统向等离子源腔室内通入反应气体，然后反应气体通过天线进行激励，从而产生螺旋波等离子体，在磁场约束的情况下首先被引出电极与PG电极之间的电势差以束流的形式被引出到扩散腔室，然后又被引出电极与法拉第筒之间的电场加速，在法拉第筒中被弧形磁铁用于二次电子抑制，防止二次电子反向加速进入等离子源腔室。本发明具有能耗低、等离子体密度高、自主冷却、磁场方便调节、多电极引出、引出束流强度高等优点。
主权项：1.一种基于螺旋波等离子体的强流离子源装置，其特征在于，所述强流离子源包括头部离子源、磁约束部分、扩散部分、供气系统、抽真空系统、射频系统和冷却系统，其中，所述头部离子源用于接收供气系统馈入的气体，并依据射频系统对该气体进行电离，产生等离子体；所述磁约束部分用于约束所述头部离子源产生的等离子体，使其以束流的形式进入到扩散部分；所述扩散部分用于结合抽真空系统为到达扩散部分的等离子体构建真空环境，以及用于构建电场环境对等离子体进行加速；所述冷却系统分别为头部离子源和磁约束部分提供冷却。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室) 一种基于螺旋波等离子体的强流离子源装置
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