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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：本文所述的是一种包含电感耦合等离子体ICP天线的装置，所述ICP天线包含串联电气耦合的多个电感，以及电容器，所述电容器与多个电感中的电感并联耦合。ICP天线将与等离子体进行电磁耦合。
主权项：1.一种装置，其包含：电感耦合等离子体ICP天线，其包含串联电气耦合的多个电感；以及电容器，其与所述多个电感中的电感并联耦合，其中所述ICP天线将与等离子体进行电磁耦合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 空间可调谐电感耦合等离子体天线
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