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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明提供一种部件的形成方法和等离子体处理装置，所述部件的形成方法包括一边供给第1陶瓷的原料和与该第1陶瓷不同的第2陶瓷的原料，一边对所述第1陶瓷的原料和所述第2陶瓷的原料照射能量束的工序。
主权项：1.一种载置台，其特征在于，包括：由导电性材料形成的基座；配置于所述基座的上面，由陶瓷材料形成的静电吸盘；设置于所述基座与所述静电吸盘之间的边界层，所述边界层包括所述导电性材料和所述陶瓷材料的混合物，所述混合物中的所述导电性材料相对于所述陶瓷材料的配比在所述边界层中随着从所述基座向所述静电吸盘去而改变。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 部件的形成方法和等离子体处理装置
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