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申请/专利权人：广东华矽半导体设备有限公司
摘要：本发明涉及一种粘滑驱动定位平台，其包括固定座、活动台、活动块、第一驱动机构和离合机构；活动台设置在固定座上，且可在固定座上沿X方向和Y方向运动；活动块和第一驱动机构均设置在活动台上，离合机构用于连接活动块和固定座，或者断开活动块与固定座的连接；粘滑驱动定位平台具有第一状态和第二状态；在第一状态，离合机构连接活动块和固定座，第一驱动机构对活动块施加力，以在活动块的反作用力的驱使下带动活动台沿X方向或Y方向运动；在第二状态，离合机构断开活动块与固定座的连接，第一驱动机构对活动块施加力，使活动块运动至活动台上的预设位置。根据本发明的技术方案，定位平台可以同时实现大行程运动与高精度定位的特性。
主权项：1.一种粘滑驱动定位平台，其特征在于，包括固定座1、活动台2、活动块7、第一驱动机构和离合机构；所述活动台2设置在所述固定座1上，且可在所述固定座1上沿X方向和Y方向运动，其中，所述X方向与所述Y方向垂直；所述活动块7和所述第一驱动机构均设置在所述活动台2上，所述离合机构用于连接所述活动块7和所述固定座1，使所述活动块7与所述固定座1保持相对固定；离合机构还用于断开所述活动块7与所述固定座1的连接，使活动块7能够相对所述固定座1运动；所述粘滑驱动定位平台具有第一状态和第二状态，其中，在所述第一状态，所述离合机构连接所述活动块7和所述固定座1，所述第一驱动机构对所述活动块7施加力，以在所述活动块7的反作用力的驱使下带动所述活动台2沿所述X方向或Y方向运动；在所述第二状态，所述离合机构断开所述活动块7与所述固定座1的连接，所述第一驱动机构对所述活动块7施加力，使所述活动块7运动至所述活动台2上的预设位置。
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权利要求：
百度查询： 广东华矽半导体设备有限公司 一种粘滑驱动定位平台
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