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申请/专利权人：佛山千隽能源科技有限公司
摘要：本申请涉及太阳能电池片技术领域，具体提供了一种用于太阳能电池片的图形化铜电极及其形成方法，该方法包括以下步骤：基于丝网印刷工艺在形成第一定模油墨和第二定模油墨；基于电沉积工艺在第一铜种子层和第二铜种子层上形成电镀掩膜油墨以及在第三铜种子层上形成包边油墨；去除第一定模油墨和第二定模油墨；基于电镀铜工艺在第一铜种子层和第二铜种子层上形成铜电极；去除电镀掩膜油墨和包边油墨，并对铜电极、第一铜种子层、第二铜种子层和第三铜种子层进行同步刻蚀，以形成图形化铜电极和去除第三铜种子层；该方法能够有效地解决由于光伏企业需要引入曝光设备才能够在太阳能电池片上形成图形化铜电极而导致光伏企业的设备投入成本过高的问题。
主权项：1.一种用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法，其特征在于，所述用于太阳能电池片的图形化铜电极形成方法包括以下步骤：S1、在太阳能电池片上形成第一铜种子层、第二铜种子层和第三铜种子层，所述第一铜种子层位于所述太阳能电池片的正面，所述第二铜种子层位于所述太阳能电池片的背面，所述第三铜种子层位于所述太阳能电池片的侧面；S2、基于丝网印刷工艺在所述第一铜种子层上形成第一定模油墨和在所述第二铜种子层上形成第二定模油墨；S3、基于电沉积工艺在所述第一定模油墨和所述第二定模油墨外露的情况下在所述第一铜种子层和所述第二铜种子层上形成电镀掩膜油墨以及在所述第三铜种子层上形成包边油墨；S4、去除所述第一定模油墨和所述第二定模油墨；S5、基于电镀铜工艺和所述电镀掩膜油墨在所述第一铜种子层和所述第二铜种子层上形成铜电极；S6、去除所述电镀掩膜油墨和所述包边油墨，并对所述铜电极、所述第一铜种子层、所述第二铜种子层和所述第三铜种子层进行同步刻蚀，以形成图形化铜电极和去除所述第三铜种子层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佛山千隽能源科技有限公司 一种用于太阳能电池片的图形化铜电极及其形成方法
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