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申请/专利权人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
摘要：本申请提供一种掩膜版框架及掩膜版组件，包括框架本体，所述框架本体开设有开窗，所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部，所述安装部用于固定掩膜版，所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧。本申请提供的掩膜版框架及掩膜版组件，由于在所述框架本体上开设有至少两个间隔的安装部，每个安装部用于固定一个掩膜版，当所述框架本体与掩膜版配合时，由现有技术的一个框架本体与一个掩膜版配合变成一个框架本体能搭配至少两个具不同开口尺寸的掩膜版使用，也即节省了框架本体的数量，从而节省了掩膜版组件的成本。
主权项：1.一种掩膜版组件，其特征在于，包括：掩膜版框架，包括框架本体，所述框架本体开设有开窗，所述框架本体开设有至少两个间隔设置的安装部，所述安装部用于固定掩膜版，所述开窗位于至少两个所述安装部的最内侧的所述安装部的内侧，所述安装部为凹槽，所述凹槽与所述开窗间隔设置；至少两个掩膜版，所述掩膜版包括版体部以及对版体部张网固定的固定座，所述固定座能与所述掩膜版框架包括的至少两个安装部中的其中一组安装部组装配合；至少两个所述掩膜版能可拆卸地分别安装于所述掩膜版框架包括的至少两个所述安装部中的其中一个安装部中，且至少两个所述掩膜版分别包括的所述版体部沿所述掩膜版框架的高度方向上层叠设置，至少两个所述掩膜版用于在基板上形成不同尺寸的膜层；所述框架本体还包括上表面以及与所述上表面相对的下表面，所述凹槽自所述上表面向所述下表面开设；所述下表面开设有至少两个顶针槽，每组顶针槽与一组所述安装部相对应且相连通；其中，每个所述掩膜版的版体部包括有开口，两个所述掩膜版开设的所述开口尺寸不相同，且开口尺寸较大的版体部更靠近所述框架本体包括的所述下表面设置；靠近所述框架本体的所述版体部的所述开口在所述掩膜版框架的高度方向上的投影位于所述开窗内。
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权利要求：
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