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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本发明公开了一种光电探测器的制备方法，包括：形成衬底；在衬底上制备电极层；在电极层上制备钙钛矿薄膜；在钙钛矿薄膜上制备Ti3C2TXMXene量子点层。通过引入Ti3C2TXMXene量子点修饰二维钙钛矿薄膜，以Ti3C2TXMXene量子点‑二维钙钛矿纳米片薄膜作为紫外光电探测器的敏感材料，基于局域表面等离子体共振LSPR效应，有效提高敏感材料对光的吸收，从而提高了紫外光电探测器的光谱响应度和光谱选择性。
主权项：1.一种光电探测器的制备方法，包括：形成衬底；在所述衬底上制备电极层；在所述电极层上制备钙钛矿薄膜，所述钙钛矿薄膜位于所述电极层之间，其中，所述钙钛矿薄膜包括：二维Ca2Nb3O10纳米片；在所述钙钛矿薄膜上制备Ti3C2TXMXene量子点层。
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百度查询： 中国科学院半导体研究所 光电探测器的制备方法
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