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申请/专利权人：无锡卓海科技股份有限公司

摘要：本发明属于晶圆刻蚀图形检测技术领域，公开了一种接触式轮廓仪双镜头检测装置，包括设置于晶圆载台的上方的安装板，安装板上设置有测试探头，测试探头上设置有用于与晶圆载台上的晶圆接触的探针，测试探头的上方设置有俯视镜头，俯视镜头的聚焦点为晶圆上的刻蚀图形，以初步判断刻蚀图形的质量；测试探头的一侧设置有侧视镜头，侧视镜头的聚焦点为探针的针尖，以判断探针是否接触到晶圆及探针的测试位置是否准确。该接触式轮廓仪双镜头检测装置既可以对刻蚀图形质量作出初步判断，又可以实时清楚观察到探针是否接触到晶圆，同时也可以判定测试探头的位置是否准确，相比于单摄像头而言图像显示更加全面，检测结果更加可靠。

主权项：1.接触式轮廓仪双镜头检测装置，其特征在于，包括设置于晶圆载台1的上方的安装板2，所述安装板2上设置有测试探头3，所述测试探头3上设置有用于与所述晶圆载台1上的晶圆接触的探针4，所述测试探头3的上方设置有俯视镜头5，所述俯视镜头5的聚焦点为所述晶圆上的刻蚀图形，以初步判断所述刻蚀图形的质量；所述测试探头3的一侧设置有侧视镜头6，所述侧视镜头6的聚焦点为所述探针4的针尖，以判断所述探针4是否接触到所述晶圆及所述探针4的测试位置是否准确；所述俯视镜头5和所述侧视镜头6分别通过物镜组件安装在所述安装板2上，所述物镜组件用于调整所述俯视镜头5正对所述晶圆和调节所述俯视镜头5到所述晶圆的距离，以及用于调节所述侧视镜头6到所述探针4的针尖的距离和改变所述侧视镜头6的倾斜角度；所述物镜组件包括与所述安装板2固定并按朝向所述晶圆或所述探针4排布的物镜轴向导轨8，所述物镜轴向导轨8上设置有物镜底座9，所述物镜底座9上设置有物镜调节座10，所述物镜调节座10上设置有物镜抱箍11，所述俯视镜头5或所述侧视镜头6由所述物镜抱箍11装夹固定；所述物镜调节座10上设置有与所述俯视镜头5的出射光线所在直线或所述侧视镜头6的出射光线所在直线垂直的第一销轴12，所述物镜抱箍11套设在所述第一销轴12上并能绕着所述第一销轴12转动，所述物镜抱箍11与所述物镜调节座10之间连接有弹簧13，所述物镜调节座10上设置有与所述物镜抱箍11抵靠的第一调节顶丝14，所述弹簧13与所述第一调节顶丝14分布于所述第一销轴12的两侧，通过改变所述第一调节顶丝14对所述物镜抱箍11的顶压量能够调节所述物镜抱箍11相对于所述物镜调节座10转动的角度，所述物镜调节座10与所述物镜抱箍11之间通过第一锁定件互相锁止。

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