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申请/专利权人：联合光科技(北京)有限公司

摘要：本发明公开了一种光学镀膜元件透、反射率测试系统及方法，涉及光学镀膜技术领域，包括获取光学镀膜元件信息，对光学膜进行光学测试，获取光学膜透过曲线，根据光学膜透过曲线，获取光学膜特征波长信息，基于光学膜特征波长信息，获取光学膜特征数据集。本发明通过光学镀膜折射差异系数，对透过曲线极值点进行筛选，获取透过曲线极值特征点信息，通过透过曲线极值特征点信息，选取出特定的透过曲线极值点，便于之后对光学镀膜元件进行测试，提高了测试效率，通过光学镀膜元件测试偏离系数确保了光学镀膜元件测试数据的可靠性和准确性，避免与光学镀膜元件实际状况差别过大，提高了光学镀膜元件的产品稳定性。

主权项：1.一种光学镀膜元件透、反射率测试方法，其特征在于，包括：获取光学镀膜元件信息，所述光学镀膜元件信息包括光学膜信息和未镀膜元件信息；对光学膜进行光学测试，获取光学膜透过曲线；根据光学膜透过曲线，获取光学膜特征波长信息；基于光学膜特征波长信息，对光学膜进行光学检测，获取光学膜特征数据集；基于透过光线强度分析，获取未镀膜元件的透过率，所述未镀膜元件的透过率为光学膜特征波长下的透过率；根据未镀膜元件的透过率，获取未镀膜元件光学性能数据；根据光学膜特征数据集和未镀膜元件光学性能数据，获取光学膜光学性能数据，所述光学膜光学性能数据为对未镀膜元件进行镀膜后的光学膜光学性能特征信息；根据光学膜光学性能数据和未镀膜元件光学性能数据，获取光学镀膜元件性能信息；所述根据光学膜透过曲线，获取光学膜特征波长信息，具体包括：根据光学膜透过曲线，获取透过曲线极值信息，所述透过曲线极值信息包括透过曲线极值点坐标信息；其中，所述透过曲线极值点坐标的横坐标为光线波长，纵坐标为光线波长下对应的光学膜透过率；根据透过曲线极值信息，获取光线波长下对应的折射率；根据光线波长下对应的折射率，对透过曲线极值点进行筛选，获取透过曲线极值特征点信息；根据透过曲线极值特征点信息，获取光学膜特征波长信息；所述光线波长下对应的折射率计算公式为： 式中，为第x个透过曲线极值点的光学膜透过率，为光程差，为第x个透过曲线极值点的折射率，为光学膜的厚度，为第x个透过曲线极值点的光线波长；所述根据透过曲线极值特征点信息，获取光学膜特征波长信息，具体包括：对光学膜进行折射率基础测试，将入射光线以垂直于光学膜表面的角度射入光学膜，获取光学膜折射测试数据，所述光学膜折射测试数据包括光学膜折射角数据和光线波长数据；其中，入射光线的波长与透过曲线极值点的光线波长相同；根据光学膜折射测试数据，获取光学膜基础折射率： 式中，为第x个透过曲线极值点的光学膜基础折射率，为空气折射率，为光学膜折射角；根据透过曲线极值点的折射率和光学膜基础折射率，获取光学镀膜折射差异系数： 基于光学膜分析需求，获取光学镀膜折射差异系数阈值；根据光学镀膜折射差异系数和光学镀膜折射差异系数阈值，判断透过曲线极值点是否符合分析需求；其中，若透过曲线极值点的光学镀膜折射差异系数超出光学镀膜折射差异系数阈值，则该透过曲线极值点的不可用；若透过曲线极值点的光学镀膜折射差异系数未超出光学镀膜折射差异系数阈值，则该透过曲线极值点的可用，即该透过曲线极值点为透过曲线极值特征点，获取透过曲线极值特征点信息；根据透过曲线极值特征点信息，获取光学膜特征波长信息，所述光学膜特征波长信息为透过曲线极值特征点对应的光线波长；所述根据光学膜特征数据集和未镀膜元件光学性能数据，获取光学膜光学性能数据，具体包括：根据光学膜特征波长信息和光学膜透过曲线，建立光学膜特征数据集D，即： 式中，为第n个光学膜特征波长，为第n个光学膜特征波长下的光学膜折射率，为光学膜透过曲线中与第n个光学膜特征波长相对应的光学膜透过率；根据光学膜特征数据集和未镀膜元件光学性能数据，获取光学膜镀膜反射率，所述光学膜镀膜反射率表示对未镀膜元件进行光学镀膜后光学膜的反射率；根据光学膜镀膜反射率和光学膜透过率，获取光学膜光学性能数据；其中，光学膜镀膜反射率的计算公式为： 式中，为第y个光学膜特征波长下的光学膜镀膜反射率，i为虚数单位，为空气折射率，为第y个光学膜特征波长下的光学膜折射率，表示第y个光学膜特征波长下的未镀膜元件折射率，为光学膜的厚度，为第y个光学膜特征波长；所述根据光学膜光学性能数据和未镀膜元件光学性能数据，获取光学镀膜元件性能信息，具体包括：根据光学膜光学性能数据和未镀膜元件光学性能数据，获取光学镀膜元件基础性能信息，所述光学镀膜元件基础性能信息包括光学镀膜元件基础透过率信息和光学镀膜元件基础反射率信息；对光学镀膜元件进行光学测试，将以光学膜特征波长为基准的入射光线垂直射入光学镀膜元件表面，获取光学镀膜元件测试数据，所述光学镀膜元件测试数据包括透射强度数据和入射光强度数据；根据光学镀膜元件测试数据，获取光学镀膜元件测试透过率；根据光学镀膜元件测试透过率和光学镀膜元件基础性能信息，获取光学镀膜元件测试偏离系数；根据光学镀膜元件测试偏离系数，判断光学镀膜元件测试数据是否出现异常，若是，则对光学镀膜元件测试进行调整，若否，则将光学镀膜元件测试透过率作为光学镀膜元件透过率；根据光学镀膜元件透过率，获取光学镀膜元件反射率；根据光学镀膜元件透过率和光学镀膜元件反射率，获取光学镀膜元件性能信息；其中，光学镀膜元件测试偏离系数的计算公式为： 式中，为第y个光学膜特征波长下的光学镀膜元件测试偏离系数，为光学镀膜元件透射光线的强度，为光学镀膜元件入射光线的强度，为第y个光学膜特征波长下的光学膜镀膜反射率，表示第y个光学膜特征波长下的未镀膜元件反射率，为光学膜透过曲线中与第y个光学膜特征波长相对应的光学膜透过率；光学镀膜元件透过率为： 式中，为第y个光学膜特征波长下的光学镀膜元件透过率；光学镀膜元件反射率为： 式中，为第y个光学膜特征波长下的光学镀膜元件反射率。

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