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申请/专利权人：美光科技公司
摘要：本申请案涉及用于测试半导体裸片的测试探针系统、具有共享垫的多通道裸片以及相关系统及方法。一种测试探针系统包含：探针，其经配置以接触晶片的多通道裸片的共享探针垫；及控制器，其经配置以产生测试图案并从所述晶片的所述多通道裸片接收信号。所述控制器经配置以使所述探针中的探针与所述多通道裸片的共享探针垫接触，选择所述多通道裸片的第一通道进行测试，选择至少一个测试模式用于测试所述第一通道，在单个接触周期期间激励至少所述第一通道，在所述单个接触周期期间获取所述第一通道的第一输出，选择所述多通道裸片的第二通道进行测试，选择至少一个测试模式用于测试所述第二通道，在所述单个接触周期期间激励至少所述第二通道，及在所述单个接触周期期间获取所述第一通道的第二输出。
主权项：1.一种测试探针系统，其包括：探针，其经配置以接触晶片的多通道裸片的共享探针垫；及控制器，其经配置以产生测试图案并从所述晶片的所述多通道裸片接收信号，所述控制器包括：至少一个控制器；及至少一个非暂时性计算机可读存储媒体，所述非暂时性计算机可读媒体上存储有指令，所述指令在由所述至少一个处理器执行时致使所述测试探针系统进行以下操作：使所述探针中的探针与所述多通道裸片的共享探针垫接触；选择所述多通道裸片的第一通道进行测试；选择至少一个测试模式用于测试所述多通道裸片的所述第一通道；在单个连续接触周期期间激励所述多通道裸片的至少所述第一通道；在所述单个连续接触周期期间获取所述多通道裸片的所述第一通道的第一输出；选择所述多通道裸片的第二通道进行测试；选择至少一个测试模式用于测试所述多通道裸片的所述第二通道；在所述单个连续接触周期期间激励所述多通道裸片的至少所述第二通道；及在所述单个连续接触周期期间获取所述多通道裸片的所述第二通道的第二输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 美光科技公司 用于测试半导体裸片的测试探针系统、具有共享垫的多通道裸片及相关系统及方法
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