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申请/专利权人：安徽北方微电子研究院集团有限公司
摘要：本发明涉及一种用于裸芯片表面清洗的装置及其使用方法，其特征在于：基座A的制备：在一块铝合金板表面加工出一组浅槽，每个浅槽尺寸与摆放芯片的裸芯片盒尺寸相匹配，同时在铝合金板四周开出一圈台阶；盖帽B的制备：定制一块铝框，该铝框尺寸与基座A四周台阶尺寸相匹配；然后在铝框表面上粘接一层丝网；（1）将装有裸芯片的裸芯片盒放入基座A的浅槽内，将基座A放入等离子清洗机中，再将盖帽B盖在基座A上，然后对其进行等离子清洗；（2）取一只与裸芯片盒型号相同的空盒子，将其口对口对齐放置在一起，然后翻转过来，按照步骤（1）的方法进行等离子清洗。本发明优点：有效避免了清洗时芯片相互碰撞损伤；提高了清洗效率高。
主权项：1.一种用于裸芯片表面清洗的装置，其特征在于由两部分组成：（1）基座A的制备：在一块铝合金板表面加工出一组浅槽，使得每个浅槽长宽尺寸与摆放芯片的裸芯片盒尺寸相匹配，每个浅槽深度以裸芯片盒放入浅槽后超出浅槽表面1～2mm；同时在铝合金板四周开出一圈台阶，以便放置盖帽B；（2）盖帽B的制备：定制一块铝框，该铝框尺寸与基座A四周台阶尺寸相匹配，即该铝框外圈长宽尺寸与基座A铝合金板外圈长宽尺寸相同，该铝框内圈长宽尺寸与基座A台阶外圈长宽尺寸相同，将铝框放置在基座A时，其高度略高出基座A表面1～2mm；然后在铝框表面上粘接一层丝网，即盖帽B制备完成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽北方微电子研究院集团有限公司 一种用于裸芯片表面清洗的装置及其使用方法
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