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申请/专利权人：愿慎新材料科技(上海)有限公司

摘要：本发明公开了一种质量流量计校准系统，包含：气源模块，气源模块用于输出测量用的气体；调压过滤模块，调压过滤模块与气源模块相连，用于对气源模块输出的气体进行过滤调压；电子测量模块，电子测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；物理测量模块，物理测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；控制模块，控制模块与调压过滤模块、电子测量模块以及物理测量模块相连。本发明弥补了国内高精度气体质量流量计的校准空白，使用物理与电子两种测试结合的方式，来对气体质量流量计进行校准，保证校准的精确度。

主权项：1.一种质量流量计校准系统，其特征在于，包含：气源模块，所述气源模块用于输出测量用的气体；调压过滤模块，所述调压过滤模块与所述气源模块相连，用于对所述气源模块输出的气体进行过滤调压；电子测量模块，所述电子测量模块与所述调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；物理测量模块，所述物理测量模块与所述调压过滤模块相连，用于测量所述待测的流量计；控制模块，所述控制模块与所述调压过滤模块、所述电子测量模块以及所述物理测量模块相连；所述电子测量模块包含：第一气动阀门，所述第一气动阀门的一端与所述调压过滤模块相连，所述第一气动阀门与所述控制模块电性连接；第一校准置物位，所述第一校准置物位的一端与所述第一气动阀门的另一端相连，用于放置所述待测的流量计；第二气动阀门，所述第二气动阀门的一端与所述第一校准置物位的另一端相连，所述第二气动阀门与所述控制模块电性连接；流量计量器，所述流量计量器与所述第二气动阀门的另一端相连，所述流量计量器与所述控制模块信号连接；所述物理测量模块包含：第三气动阀门，所述第三气动阀门的一端与所述调压过滤模块相连；第二校准置物位，所述第二校准置物位的一端与所述第三气动阀门的另一端相连，用于放置所述待测的流量计；第四气动阀门，所述第四气动阀门的一端与所述第二校准置物位的另一端相连，所述第四气动阀门与所述控制模块电性连接；真空物理测量箱，所述真空物理测量箱的一端与所述第四气动阀门的另一端相连；抽真空组件，所述抽真空组件与所述真空物理测量箱、所述控制模块相连，用于对所述真空物理测量箱抽真空；第五气动阀门，所述第五气动阀门的一端与所述真空物理测量箱相连，所述第五气动阀门与所述控制模块电性连接；压力信号传感器，所述压力信号传感器与所述第五气动阀门的另一端相连，所述压力信号传感器与所述控制模块信号连接。

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