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申请/专利权人：中国科学院大连化学物理研究所

摘要：本发明涉及一种介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，包括真空腔室、加热棒、吸气剂容器、金属电极介质板、扩压器、供气系统、气压采集系统、抽真空系统和放电系统，其中真空腔室前端与扩压器连接，所述扩压器与供气系统连接，真空腔室后端分别通过管路与抽真空系统和气压采集系统连接，吸气剂容器和金属电极介质板交错设于所述真空腔室中，且所述吸气剂容器内设有加热棒和吸气剂材料，所述金属电极介质板下端与设于真空腔室外侧的放电系统相连。本发明保证大体积吸气剂封装反应的同时，通过加热棒的加热耦合能量以及等离子体中产生的活性物种可加快整个装置中吸气剂的吸气速率。

主权项：1.一种介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，其特征在于：包括真空腔室（1）、加热棒（7）、吸气剂容器（21）、金属电极介质板（24）、扩压器（10）、供气系统、气压采集系统、抽真空系统和放电系统，其中真空腔室（1）前端与扩压器（10）连接，所述扩压器（10）与供气系统连接，真空腔室（1）后端分别通过管路与抽真空系统和气压采集系统连接，吸气剂容器（21）和金属电极介质板（24）交错设于所述真空腔室（1）中，且所述吸气剂容器（21）内设有加热棒（7）和吸气剂材料，所述金属电极介质板（24）下端与设于真空腔室（1）外侧的放电系统相连；所述真空腔室（1）前端设有前法兰（9）与所述扩压器（10）后端密封连接，所述真空腔室（1）后端设有两个后法兰（14）,且其中一个后法兰（14）通过第一管路与抽真空系统连接，另一个后法兰（14）通过第二管路与气压采集系统连接，所述真空腔室（1）上侧设有盖板（2），且所述盖板（2）与真空腔室（1）上端密封连接，所述盖板（2）上侧设有密封法兰（6），且所述加热棒（7）穿过对应的密封法兰（6）并通过焊接的直通卡套接头（8）密封后插入至所述真空腔室（1）中；所述放电系统包括高压交流电源（23）和真空电极法兰（26），其中真空腔室（1）下侧设有腔体法兰（28），且所述真空电极法兰（26）分别与对应的腔体法兰（28）密封连接，所述金属电极介质板（24）下端穿过对应的腔体法兰（28）后与对应的真空电极法兰（26）连接，所述真空电极法兰（26）通过导线（25）与所述高压交流电源（23）相连；任意相邻两个金属电极介质板（24）之间均设有一个吸气剂容器（21），且相邻两个金属电极介质板（24）中，其中一个金属电极介质板（24）与所述高压交流电源（23）的高压输出接线端A相连，另一个金属电极介质板（24）与所述高压交流电源（23）的低压输出接线端B相连，并且所述高压交流电源（23）的低压输出接线端B同时与地线（27）连接，相邻两个金属电极介质板（24）与中间的吸气剂容器（21）距离相同，并且相邻两个金属电极介质板（24）具有相同的电位差；所述吸气剂容器（21）上端与所述盖板（2）一体固连，所述吸气剂容器（21）下端螺纹连接有封盖（22），所述吸气剂容器（21）壁面带孔。

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