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对直线运动物体进行运动检测和控制的装置及镀膜设备 

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申请/专利权人:苏州江泓电子科技有限公司

摘要:本发明提供了一种对直线运动物体进行运动检测和控制的装置,涉及运动控制检测技术领域,包括:光电测距仪、控制器和设置于直线运动物体上的反射面,控制器与光电测距仪通信连接,光电测距仪将检测到的直线运动物体的位置信息传输至控制器中,控制器还用于接收直线运动物体中驱动装置上的编码器的数值,当编码器检测的直线运动物体运行距离与光电测距仪所检测到的位置信息相差超过控制器所设定的阈值时,控制器即发出警报信息;本发明还提供了一种镀膜设备,包括如上所述的对直线运动物体进行运动检测和控制的装置;本发明提供的对直线运动物体进行运动检测和控制的装置及镀膜设备能够降低成本、提高控制准确率以及保证设备运行安全。

主权项:1.一种镀膜设备,其特征在于:包括:镀膜腔体、样品架车和对直线运动物体进行运动检测和控制的装置;所述样品架车在所述镀膜腔体内往复、直线运动,所述样品架车上设置有反射面;所述对直线运动物体进行运动检测和控制的装置包括:一个光电测距仪和控制器,所述光电测距仪与所述反射面相对并固定设置,所述反射面能够将所述光电测距仪发射的光线反射至所述光电测距仪上并被所述光电测距仪接收,所述控制器与所述光电测距仪通信连接,所述光电测距仪将检测到的所述样品架车的位置信息传输至所述控制器中,所述控制器还用于接收所述样品架车中驱动装置上的编码器的数值,当所述编码器检测的运行距离与所述光电测距仪所检测到的位置信息相差超过所述控制器设定的阈值时,所述控制器即发出警报信息。

全文数据:

权利要求:

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