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七孔稀疏孔径光瞳结构 

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申请/专利权人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

摘要:本发明涉及稀疏孔径光学系统技术领域,尤其涉及一种七孔稀疏孔径光瞳结构。该结构由7个孔径组成;设第1个孔径的中心与第2个孔径至第7个孔径的中心的最小距离为S,第2~7个孔径的中心到第1个孔径中心的距离分别是S、S、3S、2S、S、S;第1个孔径和第2个孔径的中心相连,得到中心连线;以中心连线为基准、逆时针为正方向,第3个孔径至第7个孔径分别和第1个孔径的中心连线,每条线与所述中心连线的夹角分别为120°、120°、180°、arctan+120°、270°。优点在于:结构简单,比现有的稀疏孔径光瞳结构更加紧凑,空间分辨率高,成像性能优异。

主权项:1.七孔稀疏孔径光瞳结构,其特征在于:由7个直径相同的孔径组成;设第1个孔径的中心与第2个孔径至第7个孔径的中心的最小距离为S,则所述第2个孔径至所述第7个孔径的中心到所述第1个孔径的中心的距离分别是S、S、3S、2S、S、S;所述第1个孔径和所述第2个孔径的中心相连,得到中心连线;以所述中心连线为基准、逆时针为正方向,第3个孔径至第7个孔径分别和所述第1个孔径的中心连线,每条线与所述中心连线的夹角分别为120°、120°、180°、arctan+120°、270°;所述七孔稀疏孔径光瞳结构的填充因子定义为: 其中,R为所述七孔稀疏孔径光瞳结构的外接圆直径,D为孔径的直径,R=S+D;不同孔径之间的最小距离S满足条件:DSD;其中,D为孔径的直径;所述填充因子的变化范围是8.8%F22.5%。

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权利要求:

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