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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：提供用于检测来自样品的带电粒子的方法及系统。一种系统包含：第一排斥网，其经配置以排斥来自样品的具有低于第一预定能量的能量的带电粒子；及第二排斥网，其经配置以排斥通过所述第一排斥网且具有低于第二预定能量的能量的所述带电粒子。所述系统还包含第一吸引网，其经配置以吸引通过所述第一排斥网、被所述第二排斥网排斥及具有高于所述第一预定能量且低于所述第二预定能量的能量的所述带电粒子。所述系统进一步包含第一检测器，其经配置以响应于通过所述第一吸引网的所述带电粒子而产生输出。
主权项：1.一种经配置以检测来自样品的带电粒子的系统，其包括：第一排斥网，其定位于来自样品的带电粒子的路径中且经配置以排斥具有低于第一预定能量的能量的所述带电粒子；第二排斥网，其经配置以排斥通过所述第一排斥网且具有低于第二预定能量的能量的所述带电粒子；第一吸引网，其经配置以吸引通过所述第一排斥网、被所述第二排斥网排斥及具有高于所述第一预定能量且低于所述第二预定能量的能量的所述带电粒子；第一检测器，其经配置以响应于通过所述第一吸引网的所述带电粒子而产生输出；及计算机子系统，其经配置以系统地更改施加到所述第一排斥网、第二排斥网及第一吸引网的电位以借此系统地更改所述第一及第二预定能量、比较由所述第一检测器针对所述系统地更改的电位中的至少两者产生的输出及基于比较所述输出的结果来为对所述样品执行的过程选择施加到所述第一排斥网、第二排斥网及第一吸引网的所述电位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 用于带电粒子工具的带通带电粒子能量过滤检测器
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