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申请/专利权人：默克专利有限公司
摘要：本申请涉及带负电荷的二氧化硅粒子、生产这样的粒子的方法、包含这样的粒子的组合物以及化学机械抛光方法。
主权项：1.包含水和核-壳二氧化硅粒子的组合物，其中所述组合物是酸性的，并且所述核-壳二氧化硅粒子包含核和壳，所述壳包含铝酸根结构部分，该铝酸根结构部分在二氧化硅粒子的外表面之内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 默克专利有限公司 带负电荷的二氧化硅粒子、生产这样的粒子的方法、包含这样的粒子的组合物和使用这样的粒子的化学-机械抛光方法
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