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申请/专利权人：欧姆龙株式会社
摘要：在流量测量装置中，提供一种在流体的流量的测量中具备高灵敏度的小型、简单的新型流量计。对于具备供流体流通的主流路和从主流路分流且再次与主流路合流而使测量用的流体流通的支流路的流量测量装置来说，在支流路中，配置有对高流量的流体的流量进行测量的高流量测量芯片的高流量用流路和与高流量用流路相比流路截面积大且配置有对与高流量测量芯片相比对低流量的流体的流量进行测量的低流量测量芯片的低流量用流路这两个流路并列地设置。
主权项：1.一种流量测量装置，具备供流体流通的主流路和从所述主流路分流并且与所述主流路再次合流而使测量用的流体流通的支流路，其特征在于，在所述支流路中，配置有对高流量的流体的流量进行测量的高流量测量芯片的高流量用流路和与所述高流量用流路相比流路截面积大且配置有与所述高流量测量芯片相比对低流量的流体的流量进行测量的低流量测量芯片的低流量用流路并列地形成，在所述支流路中，还形成有气体种类测量用流路，在该气体种类测量用流路配置有确定在所述支流路中流动的流体的种类的气体种类测量用芯片，所述气体种类测量用流路以使所述高流量用流路和所述低流量用流路在各自的流路的中途连通的方式形成。
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