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申请/专利权人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种提高管路循环安全性的结构，包括：第一贮箱、常开气动阀、第二贮箱、常闭气动阀、出液管组、第一阀体、泵体、流量计、压力表、过滤器、第一气动阀、第一手阀、主机台、回液管组、第二手阀和总气动阀，第一贮箱和第二贮箱均与出液管组连通，出液管组和回液管组均与主机台连通，第一贮箱和第二贮箱均与回液管组连通，常开气动阀、常闭气动阀、第二手阀和总气动阀均安装于回液管组。通过对本实用新型的应用，提供了一种提高管路循环安全性的结构，第一贮箱与一常开气动阀连接，当主机台停机或宕机的时候，只需打开第二手阀，回液管组中残留的药液可通过常开气动阀进入第一贮箱，避免回液管组堵塞，保证了管路安全。
主权项：1.一种提高管路循环安全性的结构，其特征在于，包括：第一贮箱、常开气动阀、第二贮箱、常闭气动阀、出液管组、第一阀体、泵体、流量计、压力表、过滤器、第一气动阀、第一手阀、主机台、回液管组、第二手阀和总气动阀，所述第一贮箱的出液端和所述第二贮箱的出液端均与所述出液管组的一端连通，所述第一阀体、所述泵体、所述流量计、所述压力表、所述过滤器、所述第一气动阀和所述第一手阀均安装于所述出液管组，所述出液管组的另一端和所述回液管组的一端均与所述主机台连通，所述第一贮箱的回液端和所述第二贮箱的回液端均与所述回液管组的另一端连通，所述常开气动阀、所述常闭气动阀、所述第二手阀和所述总气动阀均安装于所述回液管组，所述常开气动阀用于打开或关闭所述第一贮箱，所述常闭气动阀用于打开或关闭所述第二贮箱。
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