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一种炉管内气体供应管路 

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申请/专利权人:山西潞安太阳能科技有限责任公司

摘要:本实用新型涉及太阳能硅片镀膜领域。一种炉管内气体供应管路,包括炉内气体主管路1、中段分支管路2、后段分支管路3,所述炉内气体主管路1从炉管5的炉口51的顶部边缘进入,处于炉管5中的炉内气体主管路1沿平行于炉管5的方向延伸到炉管5的炉尾52处,所述中段分支管路2为圆弧型的管路,中段分支管路2处于炉管5的中央,所述后段分支管路3为圆弧型的管路,所述后段分支管路3处于炉管5的炉尾52处内侧,所述后段分支管路3平行于炉管5的炉口51且其顶点B处与炉内气体主管路1固定连接,所述后段分支管路3与炉内气体主管路1联通,所述后段分支管路3上有多个配气孔。

主权项:1.一种炉管内气体供应管路,其特征在于:包括炉内气体主管路(1)、中段分支管路(2)、后段分支管路(3),所述炉内气体主管路(1)从炉管(5)的炉口(51)的顶部边缘进入,处于炉管(5)中的炉内气体主管路(1)沿平行于炉管(5)的方向延伸到炉管(5)的炉尾(52)处,所述中段分支管路(2)为圆弧型的管路,中段分支管路(2)处于炉管(5)的中央,中段分支管路(2)平行于炉管(5)的炉口(51)且其顶点A处与炉内气体主管路(1)固定连接,所述中段分支管路(2)与炉内气体主管路(1)联通,所述中段分支管路(2)上有多个配气孔,所述后段分支管路(3)为圆弧型的管路,所述后段分支管路(3)处于炉管(5)的炉尾(52)处内侧,所述后段分支管路(3)平行于炉管(5)的炉口(51)且其顶点B处与炉内气体主管路(1)固定连接,所述后段分支管路(3)与炉内气体主管路(1)联通,所述后段分支管路(3)上有多个配气孔。

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