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申请/专利权人：北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
摘要：本发明属于陀螺仪技术领域，具体涉及了一种基于后装配工艺的高灵敏度谐振式环形陀螺结构，旨在解决现有的陀螺仪容易受环境温度变化和振动干扰影响的问题。本发明包括：所述陀螺结构包括核心部分和边缘部分；所述核心部分包括：第一支撑锚点结构和环形谐振子结构；所述边缘部分，包括等间隔在所述环形谐振子结构外周围成圆形的n个电极和n2个后装配功能块；每个所述外周电极与环形谐振子结构形成平行板电容器；所述外周电极包括第一类电极和第二类电极，第一类电极外周连接后装配功能块。本发明通过后装配工艺突破深宽比极限对电容间隙的限制，实现极小电容间隙，增大了有用输出信号，提高了角速度输出信号的信噪比。
主权项：1.一种基于后装配工艺的高灵敏度谐振式环形陀螺结构，其特征在于：所述陀螺结构包括核心部分和边缘部分；所述核心部分包括：第一支撑锚点结构15B和环形谐振子结构1；所述边缘部分，包括等间隔在所述环形谐振子结构1外周围成圆形的n个电极和n2个后装配功能块；每个所述外周电极与环形谐振子结构1形成平行板电容器；所述外周电极包括第一类电极和第二类电极，第一类电极外周连接后装配功能块；所述第一类电极包括：驱动模态驱动电极5、驱动模态检测电极6、检测模态检测电极7和检测模态反馈电极8；第二类电极包括：正交调整电极9和静电平衡电极10；第一类电极与第二类电极交错分布；驱动模态驱动电极5与驱动模态检测电极6设置于陀螺相对两侧；检测模态检测电极7与检测模态反馈电极8设置于陀螺相对两侧；正交调整电极9和静电平衡电极10设置于陀螺相对两侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京时代民芯科技有限公司 北京微电子技术研究所 基于后装配工艺的高灵敏度谐振式环形陀螺结构
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