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申请/专利权人：北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所
摘要：本发明属于陀螺仪技术领域，具体涉及了一种兼顾高优值和高灵敏度的微机电碟形陀螺，旨在解决现有的微机电碟形陀螺无法兼顾优值与灵敏度性能不足的问题。本发明包括：支撑锚点结构、同心环结构、弹性框架结构、辐条结构、差分驱动电极、差分检测电极和调整电极；支撑锚点结构通过辐条结构与最内层同心环结构连接；辐条结构设置于非最外层的每个同心环结构内侧，同一个同心环结构上的8个辐条结构等间隔；弹性框架结构设置于非最外层的每个同心环结构的外侧，弹性框架结构的中心对准辐条结构；差分驱动电极和差分检测电极均设置在弹性框架结构中；调整电极设置在最外层同心环结构外周，并与最外层同心环结构构成平行板电容器。
主权项：1.一种兼顾高优值和高灵敏度的微机电碟形陀螺，其特征在于：包括支撑锚点结构1、同心环结构2、弹性框架结构3、辐条结构4、差分驱动电极7、差分检测电极8和调整电极9；所述所述支撑锚点结构1作为陀螺中心，外周为设定层数的同心环结构2；支撑锚点结构1通过辐条结构4与最内层同心环结构连接；辐条结构4设置于非最外层的每个同心环结构2内侧，同一个同心环结构2上的8个辐条结构4等间隔；所述弹性框架结构3为带弧形框架；弹性框架结构3设置于非最外层的每个同心环结构2的外侧，弹性框架结构3的中心对准辐条结构4；次外层同心环结构2外侧的弹性框架结构3连接最外层同心环结构2；非最外层的当前同心环结构2与对应的弹性框架结构3、辐条结构4和当前层外层同心环结构2围成凹型槽结构5；弹性框架结构3和最外层当前同心环结构2相连，最外层的弹性框架结构3与次外层的同心环结构2、最外层同心环结构2和相邻的弹性框架结构3围成口字型结构6；差分驱动电极7和差分检测电极8均设置在弹性框架结构3中；调整电极9设置在最外层同心环结构2外周，并与最外层同心环结构2构成平行板电容器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京时代民芯科技有限公司 北京微电子技术研究所 一种兼顾高优值和高灵敏度的微机电碟形陀螺
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