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一种复合溶剂铈基抛光液及其制备方法 

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申请/专利权人:西安稀有金属材料研究院有限公司

摘要:本发明公开了一种复合溶剂铈基抛光液的制备方法,该制备方法包括以下步骤:步骤一、将有机溶剂与去离子水混合形成复合溶剂,加入分散剂和固结防止剂混合均匀;步骤二、加入CeO2磨粒,依次进行高速剪切和超声处理后静置;步骤三、加入pH调节剂将pH值调节至7~10,然后加入氧化剂进行超声分散,混合均匀得到铈基抛光液;本发明还公开了一种复合溶剂铈基抛光液。本发明的制备方法通过引入有机溶剂与去离子水形成复合溶剂体系,使CeO2磨粒经高速剪切和超声处理后均匀分散,然后采用pH调节剂调节pH值,得到CeO2磨粒表面形貌完好、悬浮性和分散性优异的中、碱性铈基抛光液,适合应用于抛光技术领域。

主权项:1.一种复合溶剂铈基抛光液的制备方法,其特征在于,该制备方法包括以下步骤:步骤一、将有机溶剂与去离子水混合形成复合溶剂,然后将分散剂和固结防止剂与复合溶剂混合均匀,得到溶液A;步骤二、在步骤一得到的溶液A中加入CeO2磨粒,依次进行高速剪切和超声处理后静置,形成浆料;步骤三、在步骤二形成的浆料中加入pH调节剂将pH值调节至7~10,加入氧化剂进行超声分散,得到铈基抛光液。

全文数据:

权利要求:

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