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申请/专利权人：清华大学
摘要：本公开涉及一种基于单一位置曝光的手性结构加工装置，包括：控制模块、光源模块和聚焦模块；所述控制模块，用于根据目标手性结构对应的形状，确定目标激光参数；所述光源模块，用于根据所述目标激光参数，出射目标圆偏振激光；所述聚焦模块，用于控制所述目标圆偏振激光聚焦于目标对象表面进行单一位置曝光，得到所述目标手性结构。通过本公开的手性结构加工装置，可以通过将目标圆偏振激光聚焦于目标对象表面，利用激光聚焦带来的热量，以及目标圆偏振激光的自旋角动量，产生具有旋转对称性和手性的花状结构，实现基于光‑热‑流体耦合效应，仅通过单一位置曝光，快速完成目标手性结构的加工，并可以提高加工得到的目标手性结构的精度。
主权项：1.一种基于单一位置曝光的手性结构加工装置，其特征在于，包括：控制模块、光源模块和聚焦模块；所述控制模块，用于根据目标手性结构对应的形状，确定目标激光参数；所述光源模块，用于根据所述目标激光参数，出射目标圆偏振激光；所述聚焦模块，用于控制所述目标圆偏振激光聚焦于目标对象表面进行单一位置曝光，得到所述目标手性结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 一种基于单一位置曝光的手性结构加工装置
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