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申请/专利权人：株式会社东京精密
摘要：提供一种能够以达到激光加工的标准的方式调整激光的激光光学系统及其调整方法、以及激光加工装置及方法。一种激光光学系统（14）的调整方法，该激光光学系统具备在激光的光路上串联配置的多个光学元件单元（U1~U3），各光学元件单元包括12波阻片（WB1~WB3）和沃拉斯顿棱镜（WP1~WP3），并经由12波阻片向沃拉斯顿棱镜入射激光而分支为两条分支激光，其中，激光光学系统的调整方法包括如下步骤：使12波阻片绕光路旋转来调整分支激光的分支比率；以及使沃拉斯顿棱镜绕光路旋转来调整分支激光的分支方向。
主权项：1.一种激光光学系统，其中，所述激光光学系统具备：在激光的光路上串联配置、且具有12波阻片和沃拉斯顿棱镜的多个光学元件单元；波阻片旋转机构，其使所述12波阻片绕所述光路旋转；以及棱镜旋转机构，其使所述沃拉斯顿棱镜绕所述光路旋转，在所述多个光学元件单元中，所述激光经由所述12波阻片入射所述沃拉斯顿棱镜而被分支为两条分支激光。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社东京精密 激光光学系统及其调整方法、以及激光加工装置及方法
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