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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本公开内容提供用于清洁在制造OLED装置中使用的的真空系统的方法100。此方法100包括执行预清洁以清洁真空系统的至少一部分，和使用远程等离子体源执行等离子体清洁。
主权项：1.一种用于清洁在制造OLED装置中使用的真空系统的方法，包括：执行预清洁，以清洁所述真空系统的至少一部分；以及在执行所述预清洁之后使用远程等离子体源执行等离子体清洁，其中所述预清洁是在大气下执行的，所述等离子体清洁是在10-2毫巴或更低的真空压力下执行的，且所述预清洁包含湿式化学清洁工艺。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于清洁在制造OLED装置中使用的真空系统的方法、用于在基板上真空沉积来制造OLED装置的方法及设备
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