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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：本公开内容提供用于清洁在制造OLED装置中使用的的真空系统的方法100。此方法100包括执行预清洁以清洁真空系统的至少一部分，和使用远程等离子体源执行等离子体清洁。
主权项：1.一种用于清洁在制造OLED装置中使用的真空系统的方法，包括：执行预清洁，以清洁所述真空系统的至少一部分；和使用远程等离子体源执行等离子体清洁，其中所述预清洁是在大气下执行的，并且所述等离子体清洁是在真空下执行的，并且其中所述等离子体清洁是在操作所述真空系统之前的最终清洁程序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于清洁在制造OLED装置中使用的真空系统的方法、用于在基板上真空沉积来制造OLED装置的方法及设备
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